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隨著現代科學技術的飛速發展,發達地區紛紛實施再工業化、數字化、智能化戰略,深刻改變了制造業的生產方式和產業形態。此外,新材料、新能源等技術的重大突破將引發新一輪技術和產業變革。特別是在高科技產品的加工生產中,如何滿足精密加工、產品小型化、高純度(高質量)、高可靠性等問題的需要,對生產環境的清潔度水平提出了更高的要求。另一方面,隨著現代生物醫藥的發展,對無塵車間的細菌數量和微生物污染的控制要求也越來越高,以保證醫藥、生物研究,食品生產和其他行業不受微生物污染或感染。目前,清潔技術已廣泛應用于各行各業或其他要求防止顆粒物污染、微生物污染的環境治理中,由于行業間差距較大,且要求不同,因此環境治理的內容、指標也不盡相同。
以下是行業對無塵車間的要求匯總如下:
1.半導體、芯片、集成電路生產無塵車間要求
半導體純化是半導體器件發展的重要基礎。由于大規模、超大規模集成電路的工藝要求,為了獲得高純度的硅材料,原材料和中間介質的高純度以及生產環境的清潔度成為影響產品質量的突出問題。
20世紀50年代以來,芯片經歷了發明起源于美國、日本加速發展、韓國與臺灣成熟分化三個發展階段。前兩次半導體產業轉移的原因是:日本在pcdram市場上得到了美國的認可;韓國成為pcdram新的主要生產國;臺灣成為晶圓OEM和芯片封裝測試領域的領頭羊。如今,中國已成為世界上最大的半導體市場。在強勁需求和政策的推動下,芯片產業正迎來第三次產業轉移,向內地轉移的趨勢勢不可擋。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,芯片的缺陷密度與空氣中粒子的數量有關。因此,隨著集成電路的快速發展,不僅對空氣中控制顆粒的大小有著很高的要求,而且顆粒的數量也需要進一步的控制;同時,VLSI生產環境的化學污染控制也有相關的要求。
2.精密機械和精細化工產品生產要求
隨著科學技術的發展,許多工業產品的生產加工對生產環境中的粉塵濃度提出了很高的要求,這就要求生產環境具有一定的空氣潔凈度水平,控制所需各種相關物質的供給質量在生產過程中。例如在膠片的生產過程中,如果膠片被粉塵污染,乳液會被氧化,活性會減弱,pH值會發生變化,從而影響膠片的感光度。
3.藥品生產無塵車間的要求
藥品是用來預防和治療疾病,恢復和調節身體機能的特殊商品。它們的質量直接關系到人們的健康和安全。如果某些藥品在生產過程中受到微生物和粉塵顆粒的污染或交叉污染,可能會發生意想不到的疾病和危害。
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